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产品描述
小型桌上型高频等离子表面处理装置
■ 操作性·功能
● 射频13.56Mhz 0-300W高功率机型,发生器自动匹配,无需调节反射波,进一步增加的操作的便捷性。
● 标准配备数字式皮拉尼传感器,实时显示真空度,使得控制更为精确。
● 平行平板腔体非常适合于实验室处理比较纯净的晶圆、硅片等样品,无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。
■ 安全性·保护
● 装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯,可实时监测和了解机器的运转状态。
● 装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。
■ 产品优势
●等离子清洗机清洗效果好,清洗效率高,功率大,应用范围广。
●对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求。
●等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。
●高效的特制电极,是产生均匀等离子体的保证。
●特制电极和托盘结构,可保证样品可得到全面有效的清洗。
■ 规格
型号 | PDC200 | |
方式 | RIE模式、平行平板腔体 | |
性能 | 发生器功率: | 0-300W |
发生器频率: | 射频RF13.56Mhz | |
发生器匹配方式: | 自动匹配(Auto matching) | |
构成 | 腔体材质: | 铝制 |
腔体内尺寸: | W400×D250×H150mm | |
反应气体: | 二路工艺气体,可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体。 | |
控制方式: | 全自动控制 | |
真空度显示: | 数字式皮拉尼传感器,实时显示腔体内真空度。 | |
配管材质: | SUS不锈钢以及特氟龙 | |
门: | 铰链门 | |
外形尺寸: | W540×D600×H600mm | |
真空泵抽速: | 4m3/hour | |
电源规格: | AC220V 10A | |
重量: | 约100kg |