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恒温/加热/干燥设备
YAMATO雅马拓实验室仪器马弗炉FO系列
YAMATO高温无氧烘箱/厌氧高温气氛炉DTN系列
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日本YAMATO喷雾干燥器DL410
YAMATO高温精密恒温箱DH650C
YAMATO光刻胶固化炉
YAMATO防爆精密恒温箱DF411SC
YAMATO马弗炉FP111C
YAMATO送风定温恒温箱DNF410C
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四环福瑞真空冷冻干燥机LGJ-20G
四环福瑞真空冷冻干燥机LGJ-120E
YAMATO精密恒温水循环装置CFA610C
YAMATO冷却水循环装置CLH312C
四环福瑞真空冷冻干燥机LGJ-100E
四环福瑞真空冷冻干燥机LGJ-80E
四环福瑞真空冷冻干燥机LGJ-50E
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四环福瑞真空冷冻干燥机LGJ-30G
其他
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Kanomax加野风速仪6006
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制样/消解设备
ERMA滑动式切片机SQL530
YAMATO等离子清洗机PM100
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Kanomax加野尘埃粒子计数器3888
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清洗/消毒设备
日本YAMATO针孔灭菌器SL-21
日本YAMATO干热灭菌器SI系列
Yamato立式压力蒸汽灭菌器SQL系列
YAMATO立式压力蒸汽灭菌器SN / SQ系列
Yamato立式压力蒸汽灭菌器SQL810C
YAMATO实验室清洗机AW47
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YAMATO低温恒温培养箱
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YAMATO高温恒温培养箱IS612C
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YAMATO二氧化碳培养箱IP610
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日本YAMATO旋转蒸发仪RE212
YAMATO纯水制造装置WG204
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日本大阪卫生Osaka Sanitary内联式测温电阻
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日本大阪卫生Osaka Sanitary内联式压力计
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Kanomax加野风量罩6705
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Kashiyama干式真空泵NeoDry系列
Kashiyama干式真空泵SDL12E50
混合机
YAMATO电动搅拌器LT500A
测量/计量仪器
瑞艾特无线温度验证系统TDL
水分测定仪
日本KEM库仑法卡尔费休水分测定仪MKC-710S
分子生物学仪器
永诺生物MicroDrop-100数字PCR系统
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产品系列
产品描述
低温等离子·经典桶型。
PR500:手动控制 PR510:自动触摸屏控制
内槽
硅晶圆灰化状态
低温等离子的经典款非常具有历史性。采用自动协调功能
及触摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款
小型紧凑型的等离子处理设备。
● 去除光刻胶
● 部品清洗
● 界面活性处理
● 微研磨
● 硅晶圆,玻璃基板对应
用途
● 大口径(Φ215mm)石英反应腔
● 小型一体化设计
规格:
型号 | PR500 | PR510 |
等离子模式 | DP模式,桶形 | |
高频输出功率 | Max500W | |
频率 | 13.56MHz | |
同调方式 | 自动协调 | |
反应腔 | 石英Φ215×305mm | |
反应气体 | 2系统(O2/CF4) | |
控制 | 手动 | 触模屏自动控制 |
配管材质 | 不锈钢、特氟龙 | |
外形尺寸 | W438 x D520 x H760mm | 参照规格书 |
重量 | 约60kg | 参照规格书 |
电源 | 单相AC100V 9A | 三相AC200V 8A |