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恒温/加热/干燥设备
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四环福瑞真空冷冻干燥机LGJ-100E
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ERMA滑动式切片机SQL530
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日本YAMATO干热灭菌器SI系列
Yamato立式压力蒸汽灭菌器SQL系列
YAMATO立式压力蒸汽灭菌器SN / SQ系列
Yamato立式压力蒸汽灭菌器SQL810C
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生物工程设备
YAMATO低温恒温培养箱
YAMATO二氧化碳培养箱BNA610
YAMATO高温恒温培养箱IS612C
YAMATO多功能振荡器SA300
YAMATO二氧化碳培养箱IP610
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日本YAMATO旋转蒸发仪RE212
YAMATO纯水制造装置WG204
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工业在线及过程控制仪器
日本大阪卫生Osaka Sanitary内联式测温电阻
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Kashiyama干式真空泵NeoDry系列
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YAMATO电动搅拌器LT500A
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日本KEM库仑法卡尔费休水分测定仪MKC-710S
分子生物学仪器
永诺生物MicroDrop-100数字PCR系统
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产品系列
产品描述
洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉,主要应用于固化半导体晶圆等。
■特点:
● MAX工作温度 360℃和 500℃、洁净度 100 级、氧浓度低于20ppm,主要应用于固化半导体晶圆(光刻胶 PI、PBO 固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。
● 采用耐热高性能高效过滤器,箱内洁净度始终保持在 100 级,可在洁净的环境下进行高温烘烤。
● 高气密性的压力箱构造,氧浓度到达时间短,N2 消耗量极低。
● 通过磁密封保持高气密性,并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。
● 可实现快速升温和降温,升降温速率可调节。
● 标准装备有废液回收装置,对气体进行冷却回收。
■安全性:
●拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电漏电保护开关等安装装置。
■规格:
■本体各部分的名称和功能:
■操作面板各部位名称和功能: