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恒温/加热/干燥设备
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YAMATO高温无氧烘箱/厌氧高温气氛炉DTN系列
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日本YAMATO喷雾干燥器DL410
YAMATO高温精密恒温箱DH650C
YAMATO光刻胶固化炉
YAMATO防爆精密恒温箱DF411SC
YAMATO马弗炉FP111C
YAMATO送风定温恒温箱DNF410C
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制冷设备
YAMATO外部开放系冷却水循环装置CLS312C
四环福瑞真空冷冻干燥机LGJ-20G
四环福瑞真空冷冻干燥机LGJ-120E
YAMATO精密恒温水循环装置CFA610C
YAMATO冷却水循环装置CLH312C
四环福瑞真空冷冻干燥机LGJ-100E
四环福瑞真空冷冻干燥机LGJ-80E
四环福瑞真空冷冻干燥机LGJ-50E
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其他
Kanomax加野环境测试仪6543
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Kanomax加野风速仪6006
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制样/消解设备
ERMA滑动式切片机SQL530
YAMATO等离子清洗机PM100
日本YAMATO等离子清洗机PR200
YAMATO等离子清洗机PR500
YAMATO等离子清洗机PDC510
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气体检测仪
Kanomax加野压电天平式粉尘计KD11
Kanomax加野光散乱式粉尘计3443
Kanomax加野尘埃粒子计数器3889
Kanomax加野尘埃粒子计数器3888
Kanomax加野尘埃粒子计数器3887D
Kanomax加野尘埃粒子计数器3887C
Kanomax加野尘埃粒子计数器3887L
清洗/消毒设备
日本YAMATO针孔灭菌器SL-21
日本YAMATO干热灭菌器SI系列
Yamato立式压力蒸汽灭菌器SQL系列
YAMATO立式压力蒸汽灭菌器SN / SQ系列
Yamato立式压力蒸汽灭菌器SQL810C
YAMATO实验室清洗机AW47
生物工程设备
YAMATO低温恒温培养箱
YAMATO二氧化碳培养箱BNA610
YAMATO高温恒温培养箱IS612C
YAMATO多功能振荡器SA300
YAMATO二氧化碳培养箱IP610
纯化设备
日本YAMATO旋转蒸发仪RE212
YAMATO纯水制造装置WG204
YAMATO纯水制造装置WG251
工业在线及过程控制仪器
日本大阪卫生Osaka Sanitary内联式测温电阻
日本大阪卫生Osaka Sanitary内联式温度计
日本大阪卫生Osaka Sanitary内联式压力计
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Kanomax加野风量罩6715
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Kanomax加野风量罩6705
泵
Kashiyama干式真空泵NeoDry系列
Kashiyama干式真空泵SDL12E50
混合机
YAMATO电动搅拌器LT500A
测量/计量仪器
瑞艾特无线温度验证系统TDL
水分测定仪
日本KEM库仑法卡尔费休水分测定仪MKC-710S
分子生物学仪器
永诺生物MicroDrop-100数字PCR系统
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产品系列
高频等离子表面处理装置
■ 操作性·功能
● 射频13.56Mhz 0-1000W高功率机型,DP和RIE标配的双模等离子清洗机,可对应更多复杂工艺.
● 标准配备电离式真空计,实时显示真空度,使得控制更为精确。
● 液晶触摸屏控制,操作使用简单,调取数据简单。
■ 安全性·保护
● 标准配备真空泄漏检测功能,可以根据需要检查设备的真空以及泄漏情况。
● 装载有过电流漏电保护、真空泵、RF发生器,以及电源各部分均标准配备过电流漏电保护装置。
● 发生器保护回路:超负荷或者RF发生器发生问题时,可自动调低频率来保护发生器。
● 门锁开关:门在未完全关闭时无法启动电源。
● 侧板锁:本体侧板突然打开或者未关好时,会停止电源。
● 紧急停止按键(EMO)标准配备。
● 当装置发生异常时,装置本体发出警告信号的同时,进行以下动作1)关闭主阀。(2)关闭供气阀。(3)停止输出振荡器。(4)停止处理时间。(5)声光报警
■ 产品优势
●等离子清洗机清洗效果好,清洗效率高,功率大,应用范围广。
●DP&RIE双模处理,可对应更复杂的工艺。
●搭载高精度适配器,高性能RF电源。
●可变电极构造提高等离子处理效果。
●安全保护措施绵密,有效防止对机器以及样品的损害。
●可根据需求的具体情况提供产品定制服务。
■ 技术规格
型号 | V1000 | |
方式 | DP&RIE双模标准装备 | |
性能 | 发生器功率: | 0-1000W |
发生器频率: | 射频RF13.56Mhz | |
发生器匹配方式: | 自动匹配(Auto matching) | |
构成 | 腔体材质: | 铝制腔体 |
腔体内尺寸: | 400×400×384mm 约61.4L | |
电极尺寸: | 300mm×300mm | |
反应气体: | 双路工艺气体,可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体 | |
填充气体: | 一路氮气 | |
控制方式: | 全自动控制,5.7寸液晶触摸屏 | |
真空度显示: | 测量高真空的电离式真空计标准配备,实时显示腔体内真空度 | |
配管材质: | SUS不锈钢以及特氟龙 | |
门: | 铰链门 | |
涂装颜色: | 标准色,白系 | |
外形尺寸: | W700×D800×H1600mm(高度含警报灯) | |
真空泵: | 无油干式真空泵 抽速100m3/hour,吸气口NW40,排气口NW25 | |
电源规格: | 3phase AC200V 50/60Hz 8A | |
重量: | 约215kg | |
附属品 | 真空管件一套、真空转接接头一套 |